電容式位移傳感器在使用過程中的局限性

電容式位移傳感器在使用過程中的局限性：

  在儀器儀表或超精密機(jī)械加工領(lǐng)域，往往要求在位移測(cè)量具有納米級(jí)別的測(cè)量精度及分辨率的同時(shí)，還需要兼?zhèn)涑?。電容式位移傳?/span>

器作為一種非光學(xué)測(cè)量的位移傳感器，因其結(jié)構(gòu)簡單且具有很高的分辨率和帶寬而被廣泛應(yīng)用在納米測(cè)量領(lǐng)域。為了同時(shí)兼顧分辨率和量程,

一種采用重復(fù)的電容陣列作為傳感單元，通過記錄周期的電容變化來實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量的電容式位移傳感器便發(fā)展起來并得到運(yùn)用。然而，

傳統(tǒng)的電容式位移傳感器具有以下局限：為了提高分辨率，就不得不減小對(duì)極寬度；而對(duì)極寬度的減小會(huì)導(dǎo)致非線性響應(yīng)的增加，從而降低

測(cè)量精度。